MEMSオシレーター

A Micro-electromechanical System(MEMS)発振器は、半導体製造プロセスで構築された電気機械的共振構造を含む発振器の一種です。これらの装置は、静電気や圧電力によって振動可能な共振周波数を持つ機械構造を利用し、結晶発振器と同様に動作します。MEMS構造は結晶よりもはるかに小型化できるため、より高い共振周波数を可能にします。 しかし、MEMS発振器はプロセス変動を補正するための支持回路を必要とします。 MEMS処理技術の進歩に伴い、このクラスの発振器の性能と価格は今後も向上し続けるはずです。