MEMS-Oszillatoren

Ein MEMS-Oszillator (Micro-Electromechanical System) ist mit einer elektromechanischen Resonanzstruktur ausgestattet, die nach einem Halbleiterherstellungsverfahren gefertigt wird. Solche Geräte funktionieren ähnlich wie Quarzoszillatoren; sie sind mit einer mechanischen Struktur ausgestattet, die durch elektrostatische oder piezoelektrische Kräfte zum Schwingen gebracht wird, bis die inhärente Resonanzfrequenz erreicht ist. Eine MEMS-Struktur kann wesentlich kleinteiliger sein als die Quarzstruktur und ist somit auf höhere Resonanzfrequenzen ausgelegt.  MEMS-Oszillatoren erfordern allerdings einen Hilfsschaltkreis zum Ausgleich von Prozessabweichungen. Fortschritte, die bei der Entwicklung der MEMS-Technologie erzielt werden, dürften sich weiterhin positiv auf Preis und Leistung dieser Oszillatorklasse auswirken.