Osciladores MEMS

Un oscilador de sistema de microelectromecánico (MEMS) es un tipo de oscilador que contiene una estructura resonante electromecánica construida utilizando un proceso de fabricación de semiconductores. Estos dispositivos operan de manera similar a los osciladores de cristal mediante la utilización de una estructura mecánica con una frecuencia resonante inherente que puede oscilar por fuerzas electrostáticas o piezoeléctricas. Una estructura MEMS puede ser mucho más pequeña que una de cristal, lo que permite frecuencias resonantes más altas.  Sin embargo, los osciladores MEMS requieren circuitería de soporte para compensar la variación del proceso. A medida que las técnicas de procesamiento de los MEMS avanzan, el rendimiento y punto de precio de este tipo de oscilares debe seguir mejorando.