MEMS 振荡器

微机电系统 (MEMS) 振荡器是一种振荡器，包含使用了半导体制造工艺的机电振荡结构。设备利用具有内在谐振频率、可以通过静电力或压电力谐振的机械结构进行操作，与晶体振荡器类似。MEMS 可以形成比晶体小的结构，而且能产生更高的谐振频率。不过，MEMS 振荡器需要支持电路来弥补制程变异。随着 MEMS 加工技术的提升，这类振荡器的性能和价格应该会继续优化。